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有研究者以Al2O3為添加劑,通過熱(re)壓(ya)燒結工藝,也實現(xian)了碳化硅的致密化,并認為其機理是液相燒結。此外,還有研究者分別以B4C、B或(huo)B與C,Al2O3和C、Al2O3和Y2O3。

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2008年(nian)12月(yue)29日-西(xi)安理工(gong)大學承擔的陜西(xi)重大科技(ji)創新項目“大直(zhi)徑碳(tan)化硅晶體生長(chang)工(gong)藝及(ji)設備(2005ZKC05-02)”于2008年(nian)12月(yue)24日通過驗收。由陜西(xi)省(sheng)科學技(ji)術廳(ting)會同省(sheng)。

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2006年(nian)7月6日-西安理工(gong)大學電(dian)子工(gong)程系陳治明教授承擔的陜西省重(zhong)大科技創新項(xiang)目(mu)“大直徑(jing)碳化硅晶體生長(chang)工(gong)藝及設(she)備”進展順(shun)利,目(mu)前已用(yong)該課題(ti)組自(zi)行研(yan)制、具(ju)有自(zi)主知(zhi)識產權(quan)。

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陜西重大科技創新項目“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”通過驗收

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陜西省重大科技創新項目:我校“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”

[摘要]一種(zhong)制(zhi)造(zao)單(dan)晶碳化(hua)硅(gui)薄(bo)膜的設備,包(bao)括適于(yu)接受成膜用的SOI基材100的成膜利用本發明的方法制(zhi)備碳化(hua)硅(gui)納米棒,其(qi)工藝實施簡(jian)單(dan)、易于(yu)大批(pi)量生產、制(zhi)備溫度低。

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2011年6月(yue)14日(ri)-適合于采用“新料法”生產工藝冶煉(lian)碳(tan)化硅。但是(shi),太西煤灰分較(jiao)高,一般在57、選用低“鐵(tie)污染”破碎設備進行加工碳(tan)化硅作(zuo)為產品銷售時,要對碳(tan)化硅。

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