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廣西泥:0-10%或/和蘇州土:0-10%,硅(gui)微粒:0-10%,外加5%木質素(su)磺(huang)酸鈣溶液[摘要]一種制(zhi)造單晶(jing)碳(tan)化硅(gui)薄膜(mo)的(de)設備,包(bao)括適于接受成膜(mo)用的(de)SOI基材100的(de)成膜(mo)。

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