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論(lun)文:摘要:微電(dian)子機械(xie)系統(MEMS)是一項21世紀(ji)可以(yi)廣(guang)泛應(ying)用的新興技(ji)術(shu)。硅微機械(xie)加(jia)工工藝是近年來隨(sui)著(zhu)集成電(dian)路工藝發展起來的MEMS主流技(ji)術(shu)。介紹了(le)MEMS的特點。
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2011年10月14日-免責聲明(ming):機械專家網(wang)對(dui)刊登之所(suo)有(you)信息(xi)不聲明(ming)或保證其內容之正確性或可靠(kao)性;您于此接受并承(cheng)(cheng)認信賴任何信息(xi)所(suo)生之風險(xian)應自行承(cheng)(cheng)擔。機械專家網(wang)有(you)權但(dan)無。
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系統加(jia)工(gong)工(gong)藝方(fang)面的(de)(de)研究工(gong)作,具有非(fei)常豐富(fu)的(de)(de)研究經驗。本書(shu)的(de)(de)主(zhu)要(yao)內容包(bao)括:(1)硅的(de)(de)濕法腐蝕(shi)工(gong)藝及(ji)其(qi)物理機制的(de)(de)描述;(2)硅的(de)(de)表面微機械(xie)加(jia)工(gong)技術;(3)LIGA工(gong)藝;。
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硅(gui)微機(ji)械(xie)加工(gong)技術,作者(zhe):(法)M.埃爾溫斯波(bo)克(ke)//(捷)H.揚森譯者(zhe):姜巖峰,ISBN:9787502592585,化學工(gong)業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次印刷(shua)。博庫(ku)網全場。
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