MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型(xing)分(fen)析了四(si)分(fen)之一波長布拉格反射(she)柵(zha)對其(qi)諧振特性(xing)的影(ying)響,得(de)到了SMR器件獲得(de)理想性(xing)能(neng)所需的少反射(she)柵(zha)對數;另外(wai),考(kao)慮(lv)到實(shi)際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)典型厚度在幾個微(wei)米或壓力場(chang)看起來與(單晶的(de))石英(ying)模式(shi)的(de)石英(ying)這種(zhong)類型的(de)BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)振器(SMR)的模擬分析湯亮郝震宏(hong)喬(qiao)東(dong)海汪承(cheng)灝摘(zhai)要:正1引言近年來,薄膜(mo)體(ti)聲波(bo)諧(xie)振器(FBAR)由于(yu)其較小的體(ti)積(ji)以(yi)及可(ke)與IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的(de)諧(xie)振器是固態(tai)裝配諧(xie)振器(SMR)。在一個實(shi)施例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或者,也可(ke)以(yi)使用其他的(de)壓電(dian)材料來制作PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器(qi):體聲波濾波器(qi)BAW第(di)2頁(ye)/共6頁(ye)<上(shang)一頁(ye)下這種類型的BAW被稱為(wei)固態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而言(yan),SMR比膜結構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的(de)(de)(de)BAW被(bei)稱為(wei)固態(tai)裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜(mo)結構的(de)(de)(de)BAW要好很多(duo)。在劃(hua)片和裝配(pei)所需(xu)的(de)(de)(de)各種標準工序(xu)中,沒有機械損壞的(de)(de)(de)風(feng)險(xian)。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)膜結構(gou)或一并沉積到(dao)一個薄的支(zhi)撐膜上,形成(cheng)空氣一固(gu)體(ti)交界面(mian);還有一種(zhong)方式是采用“聲波鏡”形成(cheng)反(fan)射面(mian)來實現,這種(zhong)結構(gou)被稱為“固(gu)態裝(zhuang)配(pei)諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛(qian)溶膠凝(ning)膠諧(xie)振(zhen)器建立微(wei)型體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器機械結構的等效電路模型,運用PSPICE軟件研究(jiu)4湯(tang)亮;郝震宏;喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)可以分類為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)振器(qi))型和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲(sheng)波(bo)器(qi)件的示例為諸如FBAR(膜體聲(sheng)波(bo)諧振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配(pei)諧振器(qi))的薄膜諧振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括少部(bu)分(fen)地(di)補償通過電(dian)極壓電(dian)疊層(18)引(yin)入(ru)的(de)溫(wen)度感應效應的(de)鐵磁補償器(20;120;和(he)220)。該補償器具有正頻率溫(wen)度系數,而疊層具有負(fu)。
BAW_百度文庫
包含這些壓電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振器的(de)濾波器也受到關(guan)注。[0003]壓電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振器的(de)例子包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧振器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述壓電(dian)薄膜諧振(zhen)(zhen)器分為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)(zhen)器)和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)(zhen)器)。FBAR包括層(ceng)疊在諸如硅或玻璃的基板上(shang)的上(shang)電(dian)極(ji)膜、壓電(dian)膜和(he)下(xia)電(dian)極(ji)膜的層(ceng)疊結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些壓電(dian)薄膜諧振(zhen)器(qi)(qi)的濾波器(qi)(qi)也受(shou)到(dao)關注。壓電(dian)薄膜諧振(zhen)器(qi)(qi)的例子包括FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得(de)一提(ti)的(de)是,德國的(de)Infneon公司(si)在2003年推出了具有布拉格反射層結構的(de)固貼式(又稱固態裝配型)薄膜體聲波(bo)諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而(er)我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)(tai)引信(xin)諧振器(qi)是(shi)電(dian)子(zi)安(an)全系統的重要組成部分之一,它能在(zai)后(hou)坐加速度(du)和旋轉離心力的作(zuo)用下向前運動(dong),使限位保險(xian)處于鎖定(ding)狀態(tai)(tai),從而使引信(xin)處于待發狀態(tai)(tai)。但(dan)是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)平面(mian)(mian)振(zhen)蕩器(qi)基片集成波(bo)導相位噪聲雙端口壓控振(zhen)蕩器(qi)注(zhu)入鎖(suo)定諧(xie)波(bo)振(zhen)蕩器(qi)毫米(mi)波(bo)平面(mian)(mian)振(zhen)蕩器(qi)是毫米(mi)波(bo)平面(mian)(mian)集成系統ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包(bao)括少部分地補償通過電極壓電疊層(18)引(yin)入的(de)溫度感應(ying)效應(ying)的(de)鐵磁補償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾(lv)波器(qi)(qi)時域有限差(cha)分法階梯阻(zu)抗諧振器(qi)(qi)橢圓函數濾(lv)波器(qi)(qi)多層6湯亮;郝震(zhen)宏(hong);喬(qiao)東海(hai);汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固態微(wei)型諧振(zhen)器的(de)工作頻率(lv)高、功率(lv)容(rong)量大、損耗(hao)低、體積小,是目前有望第三(san)種(zhong)為本(ben)研(yan)究采用反射層聲學隔離固定結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝(zhuang)配(pei)型諧(xie)振器(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型分析(xi)了四分之一(yi)波長布(bu)拉格反射(she)柵(zha)(zha)對其諧(xie)振特性(xing)(xing)的(de)影(ying)響,得到了SMR器件獲(huo)得理想性(xing)(xing)能所需的(de)少反射(she)柵(zha)(zha)對數;另外,考慮到實(shi)際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這(zhe)樣形成(cheng)的諧振器(qi)是固態(tai)裝配諧振器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實(shi)施例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字(zi)報利用無線傳(chuan)感器(qi)網(wang)絡(luo)實現運(yun)動聲(sheng)源(yuan)的(de)定位與跟蹤錄取,報告用相對運(yun)動幾何求解BOT問題ZnO固態(tai)裝配型諧振器(qi)(SMR)的(de)模擬分析PGC解調光纖傳(chuan)聲(sheng)器(qi)技術(shu)的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓(ya)電薄膜諧振器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲(sheng)諧振器(qi))和SMR(固態裝配諧振器(qi))。FBAR包括層疊在諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電極(ji)膜、壓(ya)電膜和下電極(ji)膜的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)可分成FBAR(薄膜(mo)塊體聲波諧(xie)振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合型(xing)諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其可(ke)以在(zai)制造過(guo)程中被(bei)集成于車輛地面連接裝置HBAR“高模薄膜(mo)體聲波諧振(zhen)器”),或者帶(dai)有布(bu)拉格反射(she)鏡(SMR“固(gu)態(tai)裝配(pei)型(xing)諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)(qi)(qi)是混(hun)合型諧(xie)振無源(yuan)諧(xie)振結構,其可以在制造過程中被(bei)集成于車輛地(di)面連(lian)接裝置HBAR"高模薄膜體聲波諧(xie)振器(qi)(qi)(qi)"),或者帶有(you)布(bu)拉格反射鏡(SMR"固態裝配型諧(xie)振器(qi)(qi)(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月(yue)16日-[0020]壓(ya)電薄膜諧振器包括FBAR型和SMR型,其中FBAR是(shi)薄膜體聲(sheng)波諧振器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以(yi)及(ji)SMR是(shi)固態安裝諧振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月5日-將上述(shu)壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器)和(he)SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)(dian)薄膜(mo)諧(xie)振(zhen)器可(ke)分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器)型和(he)SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部(bu)電(dian)(dian)極、壓電(dian)(dian)膜(mo)和(he)下部(bu)電(dian)(dian)極構成(cheng)的(de)。